其原理是：在接近式光刻 中，会连续复制整个硅片图形，掩模版不与光刻胶直接接触。它与光刻胶表面接近，在掩模版和硅片表面光刻胶之间大约有2.5~25微米的间距 。光源产生的是被准直的，光束彼此平行。
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