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ASML发布声明:因许可证被撤销,两台DUV光刻机无法交付中国客户原创2024-01-03 09:37·宗熙先生2024年1月1日,荷兰光刻机巨头ASML发布声明宣布,由于一项出口许可证近期被荷兰政府撤销,两台DUV光刻机将无法交付给中国客户。具体受影响的光刻机型号为Twinscan NXT:2050i和Twinscan NXT:2100i,这是该公司最先进的深紫外(DUV)光刻机,其分辨率小于等于38纳米。其中,Twinscan NXT:2100i型光刻机优于前者,硬件和软件方面都进行了大幅更新改进,单机覆盖率比前者提高了10%(0.9 nm),匹配机器覆盖率提高了13%(1.3nm)。这两台光刻机每小时可处理多达295个晶圆,可用于制造芯片和存储器,如果采用多重曝光技术,可以用来制造7纳米甚至5纳米级的芯片。ASML公司在声明中没有明确地说明具体原因,但委婉地表示该公司近期和美国政府进行了交流沟通,“最新的美国出口规则(2023 年 10 月 17 日发布)对某些可用于制造先进工艺的DUV浸没式光刻机增加了(出口)限制。”而ASML公司出口光刻机必须遵守美国和荷兰政府的相关法令,美国不允许出售可用于制造14纳米、16纳米和更先进制造节点的生产设备给某些特定的国家。因此,ASML公司将无法将这两台光刻机交付给中国客户。请注意:本部分内容是坊间的分析猜测,ASML公司在声明中没有明确说明。ASML公司最后在声明中强调:“预计该项出口许可证被撤销和美国制定的最新出口管制,不会对我们2023年财务盈收产生重大不利影响。ASML公司将完全遵守所有相关的法律和法规,包括我们经营所在国的出口管制立法。”补充说明:图一为ASML公司的官网声明截图,原文为英文,为方便读者阅读理解使用机器翻译,仅供参考。被检查对象名称:李村邮政支局